复旦团队全球首创“纤维芯片”!开辟柔性集成电路新方向,成果登《自然》
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短短的一根柔软纤维上可集成十万个甚至更多的晶体管,集成电路由此不再是复旦以块状或片状形态出现,而是团队以一维的线状形态出现。复旦大学彭慧胜/陈培宁团队突破传统集成电路硅基研究范式,全球率先通过设计多层旋叠架构,首创在弹性高分子纤维内实现了大规模集成电路,开辟即“纤维芯片”,柔性有望开辟柔性集成电路新方向。集成
“纤维芯片”具有良好的电路信息处理能力,相较传统芯片,新方向成具有更优异的果登柔性,可耐受弯曲、纤维芯片拉伸、复旦扭曲等复杂形变,团队如承受1毫米半径弯曲、全球20%拉伸形变、180°/厘米扭转等变形,甚至在经过水洗、高低温、卡车碾压后,仍能保持性能稳定。
新的纤维芯片有望为脑机接口、电子织物、虚拟现实等新兴产业变革发展提供有力支撑。相关成果于北京时间1月22日凌晨以《基于多层旋叠架构的纤维集成电路》为题发表于国际顶刊《自然》。
为纤维器件“匹配”纤维芯片
过去几十年,纤维器件相继被赋予发电、储能、显示、感知等功能,有望推动信息、能源、医疗等重要领域变革发展,甚至催生电子织物等新产业。这也被多个国家和地区列为国家级创新领域,全球市场规模未来有望达万亿欧元级别。
将纤维器件集成得到多功能纤维电子系统,是实现规模应用的必经之路。但目前,纤维系统通常连接硬质块状芯片,与其柔软、可适应复杂变形等应用要求存在根本矛盾,这也成为整个领域面临的一个重要挑战。
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纤维芯片结构示意图
复旦大学团队在国际上率先提出“纤维器件”概念,已创建出具有发电、储能、发光、显示、生物传感等功能的30多种新型纤维器件,相关成果七次登上《自然》,获授权国内外发明专利120多项,部分成果已初步实现产业应用。
在持续深耕研究过程中,团队意识到,要实现纤维器件的大规模应用,必须要将不同功能的纤维器件集成在一起,形成纤维电子系统,并赋予其信息交互功能。也正是因此,团队在10多年前就提出“纤维芯片”的概念并开启研究。
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成卷的纤维芯片和装有纤维芯片的器件图(袁婧 摄)
此次,团队终于通过在柔软、弹性的高分子纤维内建立多层旋叠架构设计思想,实现微型电子器件高集成密度,有望摆脱对硅基芯片电路的依赖。
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纤维发光图
据成果通讯作者之一、复旦大学陈培宁教授介绍,通过设计多层螺旋架构,按照目前实验室级1微米的光刻精度预测,长度为1毫米的“纤维芯片”可集成数万个晶体管,其信息处理能力可与一些医疗植入芯片相当;若“纤维芯片”长度扩展至1米,其集成晶体管数量有望提升至百万级别,达到经典计算机中央处理器的晶体管集成水平。如果光刻精度达到纳米级的话,集成数量将更高。
破解三方面难题,实现零的突破
值得一提的是,团队跳出“仅利用纤维表面”的惯性思维,提出多层旋叠架构的设计思想,即在纤维内部构建多层集成电路,形成螺旋式旋叠结构,从而最大化地利用纤维内部空间。这也是在国际上首次实现纤维芯片制备零的突破。
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多层电路内部结构图
据介绍,实现这一设想的挑战非常大,主要面临三方面难题。首先,集成电路光刻对衬底的平整度要求,但常用弹性高分子表面在微观尺度极不平整,粗糙度为几十纳米,相当于在坑坑洼洼的软泥地上盖高楼;其次,目前光刻过程中用到多种极性溶剂,弹性高分子与这些溶剂接触后极易发生溶胀;同时,集成电路中的很多功能组分,如半导体、金属导电通路等,很难承受纤维拉伸、扭曲等复杂变形中所引起的局部应变集中,极易引发电路结构脆裂和性能快速失效。
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卡车碾压稳定测试
为此,团队通过多年攻关,探索出了系统解决方案,发展出可在弹性高分子上直接进行光刻高密度集成电路的制备路线。值得一提的是,团队所发展的制备方法,与目前芯片产业中的成熟光刻制造工艺高效兼容,通过研制原型装置,设计标准化制备流程,初步实现了“纤维芯片”的实验室级规模化制备。
多学科协同,走通设想到产品之路
据中科院院士、复旦大学纤维材料与器件研究院和高分子科学系彭慧胜教授介绍,这项工作涉及材料合成制备、电子器件构建、电路设计集成和生物应用等多个不同学科。团队所依托的纤维电子材料与器件研究院,近年来已经形成了一支多学科交叉研究队伍。此外,得益于复旦大学的多学科优势,这项工作还得到了来自校内聚合物分子工程全国重点实验室、集成电路与微纳电子创新学院、生物医学工程与技术创新学院、电镜中心和中山医院等团队的通力协作。
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装有纤维芯片的用于虚拟现实领域的概念产品(袁婧 摄)
未来,围绕“纤维芯片”研究,团队期望继续与来自不同学科的学者一起协同攻关,在规模化制备和应用方面,团队已建立了自主知识产权体系,期待与产业界加强合作,推动实现更广领域高质量应用,为我国集成电路产业自立自强贡献力量。
该研究得到国家自然科学基金委、科技部、上海市科委等项目支持。复旦大学纤维电子材料与器件研究院、高分子科学系、先进材料实验室教授彭慧胜、陈培宁为本论文通讯作者,博士研究生王臻、陈珂和博士后施翔为共同第一作者。
原标题:《复旦团队全球首创“纤维芯片”!开辟柔性集成电路新方向,成果登《自然》》
栏目主编:樊丽萍
本文作者:文汇报 姜澎
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